Cathode-luminescence screen and method for its manufacturing

Катодолюминесцентный экран и способ его изготовления

Abstract

FIELD: low-voltage displaying equipment, in particular, design of screens, digital and alphanumerical indicators, universal boards for displaying of arbitrary information. SUBSTANCE: state-of-the-art device has two flat glass panels, including front transparent plate and substrate with electrodes, which comprise emitter and anode and are covered with conducting layer and luminophore. Anodes and emitters are designed as two combs which are inserted into each other. Emitters with connectors are located in upper substrate plane. Anodes and anode lines are arranged in two grooves, which are cut in substrate on the upper side with given height. Free space of grooves of anode lines is filled with dielectric material, for example, fusible glass in order to produce plane surface, which carries connection emitter lines. Grooves are produced by means of liquid etching. Topology of protection resistors is produced by means of photolithography. Then, manufacturing involves deposition of emitting and conducting layers, production of emitter lines, active structure of anodes and emitters of light-emitting cell by means of etching emitting layer and glass hollows by given depth using windows in conducting layer. Then, manufacturing involves plasma deposition of conducting layer, which contacts anode line, removal of photo resistive material with deposited conducting layer and deposition of layer of low-voltage fine-grained luminophore. EFFECT: increased service life, information capacity and simplified manufacturing. 6 cl, 7 dwg
Изобретение относится к низковольтным средствам отображения информации на основе катодолюминесценции и может быть использовано при разработке устройств для создания экранов, цифровых и буквенно-цифровых индикаторов, универсальных панелей для визуального отображения любой информации. Технический результат заключается в обеспечении долговечности, высокоинформативности и упрощении технологии. В известном катодолюминесцентном экране с вакуумной оболочкой, составленной из двух плоских стеклянных лицевой прозрачной пластины и подложки с электродами: плоским тонким торцевым эмиттером и анодом, покрытым проводящим слоем и люминофором, аноды и эмиттеры выполнены в виде двух гребенок, вложенных одна в другую. Эмиттеры с соединителями расположены в верхней плоскости подложки, а аноды и анодные шины расположены на дне траншей, выполненных на заданную глубину в подложке со стороны верхней плоскости. Свободное пространство траншей анодных шин заполнено диэлектриком, например легкоплавким стеклом, до образования планаризованной поверхности для расположения на ней соединительных эмиттерных шин. Траншеи выполняют путем жидкостного травления. После образования планаризованной поверхности напыляют резистивный слой. Топология защитных сопротивлений формируется фотолитографией, после чего на поверхность наносят эмиттирующий и проводящий слои, формируют эмиттерные шины, активную структуру анодов и эмиттеров, светоизлучающей ячейки путем травления в окнах проводящего слоя, эмиттирующего слоя и полости в стекле на заданную глубину. Лучевым напылением осаждают проводящий слой, контактирующий с анодной шиной. Удаляют фоторезист с напыленным на него проводящим слоем и наносят слой низковольтного мелкозернистого люминофора. 2 с. и 4 з.п. ф-лы, 7 ил.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    RU-2446506-C1March 27, 2012Борис Исаакович ГорфинкельЯчейка с автоэлектронной эмиссией и способ ее изготовления
    RU-2487423-C2July 10, 2013Сони КорпорейшнУстройство дисплея и способ обработки сигнала изображения